高純氣體管道配管的選擇要點(diǎn)
高純氣體通過管道輸送，高純氣體輸送至加氣站質(zhì)量是否合格的關(guān)鍵是供氣系統(tǒng)設(shè)計(jì)合理，管道及附件選擇正確，施工安裝正確，試驗(yàn)檢測(cè)合格，下面讓我們一起了解下高純氣體管道配管及附件材料的選擇要點(diǎn)吧！
高純氣體管道輸送管道應(yīng)當(dāng)根據(jù)工藝對(duì)氣體純度、允許雜質(zhì)含量、微粒含量等的要求，采用相應(yīng)質(zhì)量的管材。 例如，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)由于其生產(chǎn)技術(shù)復(fù)雜、加工精細(xì)，不僅要求清潔的生產(chǎn)環(huán)境，而且對(duì)生產(chǎn)過程中所需的各種高純氣體有特定而嚴(yán)格的要求，從微米技術(shù)到亞微米、深亞微米（小于0.35g.m ）技術(shù)含水量要求極其嚴(yán)格，10-6 ） ppm級(jí)）已不能滿足要求，需要達(dá)到10.因此輸送管道本身的管道材料特性必須適應(yīng)高純度、超高純氣體的要求。
談?wù)勗诰?xì)化工、微電子、光電、生物制藥等高科技行業(yè)的清潔、超純管道系統(tǒng)中安裝高純氣體管道的選擇。
首先，對(duì)于輸送高純氣體的管道來說，影響氣體質(zhì)量的管道材料的主要特性是透氣性、排氣速度、吸附性、表面粗糙度和耐磨性、耐腐蝕性。
1、透氣性：
氣體從壓力或分壓高的一側(cè)透過材料流入壓力或分壓，低的一側(cè)的現(xiàn)象就是氣體滲透。 輸送要求ppm級(jí)以上純度的氣體，必須從透氣性的角度選擇不銹鋼管或鋼管，如果不適當(dāng)選擇不符合要求的管道材料，采取任何凈化手段都是徒勞的。
2、排氣速度：
在材料冶煉過程中形成的管材晶界或晶格內(nèi)部存在氮、烴等雜質(zhì)，高純氣體傳輸過程中這些雜質(zhì)緩慢釋放，污染高純氣體。 特別是雜質(zhì)要求為ppb以上的高純度氣體。 通常低碳不銹鋼管的排氣速度極低。
3、吸附性：
水分等雜質(zhì)是極性分子，因此吸附性強(qiáng)。 橡膠、塑料或表面粗糙的材料容易吸附水分等雜質(zhì)，銅材對(duì)水的吸附性非常強(qiáng)，用這些材料輸送高純氣體容易受到污染。 輸送ppm以下氧氣除紫銅管外，高純氣體不使用銅管和塑料管。 氣體接觸的墊片、填充劑也不得使用橡膠、塑料材料（包括聚四氟乙烯）。
4、表面粗糙度和耐磨性：
為了確保輸送氣體的清潔度，要求管道材料的內(nèi)表面有極高的光澤度。 這樣可以防止污染粒子和濕氣滯留在管道壁上，凈化時(shí)比較容易吹走。 管材比較干凈耐磨，氣流高速清洗少產(chǎn)生金屬顆粒，不銹鋼比銅管產(chǎn)生顆粒少，因此不銹鋼管耐磨性優(yōu)于鋼管。
以上介紹的就是高純氣體管道配管及附件材料的選擇要點(diǎn)，如需了解更多，可隨時(shí)聯(lián)系我們！
當(dāng)前位置：
熱門推薦
